Туннельный/ атомно-силовой микроскоп (СТМ/AСM) Accurex®

Универсальный туннельный/атомно-силовой микроскоп (СТМ/AСM) Topometrix Accurex и оптический микроскоп ближнего поля Aurora.

Приставки для магнитной и электрической силовой микроскопии и комплект оборудования для проведения исследований в замкнутой жидкостной электрохимической и газовой ячейках

СЗМ TopoMetrix Accurex предназначен для исследования поверхности твердых тел в воздушной и жидкой средах с нанометровым/ангстремным разрешением как в плоскости образца, так и по высоте.

Краткие характеристики СЗМ:
Методы исследования поверхности реализуемые на данном СЗМ:


1. сканирующая туннельная микроскопия (СТМ)
2. атомно-силовая микроскопия (АСМ)
2.a. контактный режим
2.b. неконтактный режим
3. электро-силовая микроскопия (ЭСМ) и магнитно-силовая микроскопия (МСМ)

Способы сканирования поверхности образца:
Сканирование осуществляется зондом при помощи сменных сканеров (табл. 1).

Табл. 1. Характеристики сканеров.  

Название Модель Диапазон сканирования Минимальный шаг сканирования
СТМ сканер 5360-00 360-00:2×2×1 мкм (±10%) 0.1 нм
АСМ воздушный сканер 5120-00 2×2×0.8 мкм (±10%) 0.1 нм
АСМ воздушный сканер 5460-00 5460-00:100×100×8 мкм (±10%) 1 нм
МСМ/ЭСМ сканер 5145-00 145-00:100×100×10 мкм (±10%) 1 нм
АСМ жидкостный сканер 5270-00 5270-00:2×2×0.8 мкм (±10%) 0.1 нм
АСМ жидкостный сканер 5180-00 100×100×10 мкм (±10%) 1 нм

Физические характеристики получаемые при исследовании поверхности:

1. структура поверхности
1.a. морфология поверхности
1.b. атомная структура
2. поверхностные свойства
2.a. фазовый контраст
2.b. карта микротрения и микротвёрдости
2.c. карта магнитных и электрических свойств поверхности

Зондовые датчики:
1. электрохимически заточенная или обкусанная вольфрамовая проволока для СТМ.
2. для исследования образцов в контактном режиме АСМ используются тонкопленочные V-образные Si3N4 кантилеверы с пирамидальными зондами (длина зонда ~4 мкм, ширина основания ~ 4 мкм, радиус закругления кончика 20-50 нм).
2. для исследования образцов в неконтактном режиме АСМ используются жесткие I-образные кремниевые кантилеверы с циллиндрическими зондами (длина зонда ~ 10 мкм, радиус основания ~ 2 мкм, радиус закругления кончика 10-20 нм).

Разрешение составляет от нескольких десятков нанометров до одного ангстрема и определяется:
1. типом используемого зонда
2. методом (режимом) которым исследуется поверхность (АСМ, СТМ)
3. исследуемой физической величиной (топография поверхности, электрические и магнитные свойства)
4. погрешностями прибора (точность калибровки)

Параметры исследуемых образцов:
1. длина и ширина в латеральной плоскости не лимитирована (до 20-30 см)
2. толщина несколько миллиметров (не более 10 мм)

Исследуемые структуры:
1. образцы с квантовыми точками (КТ) на поверхности (латеральный размер КТ от 2 нм до 100 нм)
2. срезы металлов с выделением границ зёрен на поверхности (размеры зёрен ~ 0.1÷50 мкм)
3. тонкие диэлектрические плёнки

   

Вернуться к списку