Сканирующий зондовый микроскоп Solver PRO-M (NT-MDT)

СЗМ Solver PRO-M в комплекте с жидкостной головкой предназначен для исследования поверхности твердых тел в воздушной и жидкой средах с нанометровым/ангстремным разрешением как в плоскости образца, так и по высоте.


Методы исследования поверхности реализуемые на данном СЗМ:

1.   сканирующая туннельная микроскопия (СТМ)  
2.   атомно-силовая микроскопия (АСМ)  
2.a. контактный режим
2.b. неконтактный режим
2.c. полуконтактный режим
3.   жидкостная АСМ  

Способы сканирования поверхности образца:

  1. сканирование образцом с помощью сменных сканеров (табл. 1) и универсальной измерительной головки или СТМ головки  
  2. сканирование зондом с помощью сканирующей измерительной головки “SMENA” (табл. 1)  
  3. сканирование образцом и зондом при использовании сканера и сканирующей измерительной головки “SMENA”.  
Табл. 1. Характеристики сканеров и сканирующих головок.  

Модель Диапазон сканирования Минимальный шаг сканирования  
SC101 1×1×1 мкм (±10%) 0.0004 нм  
SC110 10×10×2 мкм (±10%) 0.0011 нм
SC150 50×50×3 мкм (±10%) 0.006 нм
SMENA 50×50×2.5 мкм (±10%) 0.006 нм

Физические характеристики получаемые при исследовании поверхности:
1.    структура поверхности 
1.a. морфология поверхности
1.b. атомная структура
2.    поверхностные свойства 
2.a. фазовый контраст
2.b. исследование микротрения и микротвёрдости
2.c. исследование сопротивления растекания
2.d. исследование доменной структуры ферроэлектриков


Зондовые датчики:
  1. для исследования образцов в контактном режиме измерений используются прочные зондовые датчики CSG11 (CSG1) (изготовленные фирмой NT-MDT) с радиусом закругления вершины 5 нм и с угловой расходимостью кончика зонда <22°, покрытые плёнкой Pt(Au) (для изучения электрических характеристик поверхности и для метода СТМ).  
  2. для исследования образцов в неконтактном и полуконтактном режиме измерений используются зондовые датчики NSG11 (NSG1) (изготовленные фирмой NT-MDT) с радиусом закругления вершины 5 нм и с угловой расходимостью кончика зонда <22°, покрытые плёнкой Pt (Au) (для изучения электрических характеристик поверхности и для метода СТМ).  

Разрешение составляет от нескольких десятков нанометров до одного ангстрема и определяется:
  1. типом используемого зонда 
  2. методом (режимом) которым исследуется поверхность (АСМ, СТМ)  
  3. исследуемой физической величиной (морфология поверхности, микротвёрдость)  
  4. погрешностями прибора  

Параметры исследуемых образцов:
  1. длина и ширина в латеральной плоскости несколько сантиметров (сканирующая измерительная головка “SMENA” позволяет исследовать образцы практически любых размеров) 
  2. толщина несколько миллиметров  
  3. вес до 100 гр (только для сканеров)  

Исследуемые структуры:

  1. образцы с квантовыми точками (КТ) на поверхности (латеральный размер КТ от 10 нм до 200 нм)
  2. срезы металлов с выделением границ зёрен на поверхности (размеры зёрен ~ 0.5÷10 мкм)  
  3. тонкие диэлектрические плёнки  

Методы литографии (в контактном режиме):
5.    модификация рельефа поверхности  
5.a. растровая литография
5.b. векторная литография
5.c. перемещение отдельных атомов зондом
6.    модификация поверхностных свойств образцов (анодное оксидирование). 

Вернуться к списку